真空烘箱的干燥過程中，首先是所要干燥的物料表面的水分受熱汽化并被真空設備排除，物料表面的水分因汽化而逐漸減少，并在物料內部與表面之間形成溫差。而內部的水分在溫差的作用下，不斷向表面擴散，以至于在到達表面后汽化。其次在真空干燥過程中也存在著壓力差，使得被汽化的水分子加速移動。

其實影響著真空烘箱的干燥速度有很多，大多都是物料本身的一些因素，如尺寸，形狀，大小，物料的含濕量、密度、粘度以及堆放的松散度、厚度等。